Arnold, H. (1982). Chemische Dampfablagerung: CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik. Akademie-Verlag.
Cita Chicago (17th ed.)Arnold, Heinrich. Chemische Dampfablagerung: CVD-Grundlagen Für Die Mikroelektronik. Berlin: Akademie-Verlag, 1982.
Cita MLA (8th ed.)Arnold, Heinrich. Chemische Dampfablagerung: CVD-Grundlagen Für Die Mikroelektronik. Akademie-Verlag, 1982.
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