Arnold, H. (1982). Chemische Dampfablagerung: CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik. Akademie-Verlag.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Arnold, Heinrich. Chemische Dampfablagerung: CVD-Grundlagen Für Die Mikroelektronik. Berlin: Akademie-Verlag, 1982.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Arnold, Heinrich. Chemische Dampfablagerung: CVD-Grundlagen Für Die Mikroelektronik. Akademie-Verlag, 1982.
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