Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Arnold, Heinrich (مؤلف)
التنسيق: كتاب
اللغة:German
منشور في: Berlin : Akademie-Verlag, 1982
المحتويات/الأجزاء:1 تسجيلات