Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

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Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Arnold, Heinrich (Autore)
Natura:	Libro
Lingua:	German
Pubblicazione:	Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Contenuto/pezzi:	1 record

1. Chemische Dampfablagerung