Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

QR код

Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Бібліографічні деталі
Автор:	Arnold, Heinrich (Автор)
Формат:	Книга
Мова:	German
Опубліковано:	Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Зміст/частини:	1 записів

1. Chemische Dampfablagerung