Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| मुख्य लेखक: | |
|---|---|
| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | German |
| प्रकाशित: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
|
| अंतर्वस्तु / टुकड़े: | 1 अभिलेख |
| भौतिक वर्णन: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
|---|---|
| बोधानक: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |