Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Главный автор: | |
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| Формат: | |
| Язык: | German |
| Опубликовано: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Контексты/части: | 1 записей |
| Объем: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Шифр: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |