Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

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Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Arnold, Heinrich (Autor)
Format:	Llibre
Idioma:	German
Publicat:	Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Continguts/components:	1 registres

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