Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Arnold, Heinrich (लेखक)
स्वरूप: पुस्तक
भाषा:German
प्रकाशित: Berlin : Akademie-Verlag, 1982
अंतर्वस्तु / टुकड़े:1 अभिलेख

समान संसाधन