Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | German |
| Publicado em: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
|
| Conteúdos/Exemplares: | 1 registros |
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| Formato: | Livro |
| Idioma: | German |
| Publicado em: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Conteúdos/Exemplares: | 1 registros |