Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Arnold, Heinrich (Författare, medförfattare)
Materialtyp: Bok
Språk:German
Publicerad: Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Innehåll/delar:1 poster

Liknande verk