Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Päätekijä: | |
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| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Kieli: | German |
| Julkaistu: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Sisältö/kappaleet: | 1 tietuetta |
| Ulkoasu: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Hyllypaikka: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |