Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Auteur principal: | |
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| Format: | Livre |
| Langue: | German |
| Publié: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Contenu: | 1 notices |
| Description matérielle: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Cote: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |