Halbleitertechnologie Band01 Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung
| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | |
| Формат: | Книга |
| Мова: | German |
| Опубліковано: |
Berlin :
Verlag Technik,
1981
|
| Редагування: | 1. Auflage |
| Серія: | Halbleitertechnologie
|
| Фізичний опис: | 238 S. |
|---|