Halbleitertechnologie Band01 Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung
| VerfasserIn: | |
|---|---|
| Weitere Personen: | |
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin :
Verlag Technik,
1981
|
| Ausgabe: | 1. Auflage |
| Schriftenreihe: | Halbleitertechnologie
|
| Beschreibung: | 238 S. |
|---|