Halbleitertechnologie Band01 Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | |
| Язык: | German |
| Опубликовано: |
Berlin :
Verlag Technik,
1981
|
| Редактирование: | 1. Auflage |
| Серии: | Halbleitertechnologie
|
| Объем: | 238 S. |
|---|