Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Codi QR

Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Arnold, Heinrich (Autor)
Format:	Llibre
Idioma:	German
Publicat:	Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Continguts/components:	1 registres

1. Chemische Dampfablagerung