Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

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Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia:	Arnold, Heinrich (Egilea)
Formatua:	Liburua
Hizkuntza:	German
Argitaratua:	Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Edukiak/piezak:	1 erregistroak

1. Chemische Dampfablagerung