Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

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Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Arnold, Heinrich (Tekijä)
Aineistotyyppi:	Kirja
Kieli:	German
Julkaistu:	Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Sisältö/kappaleet:	1 tietuetta

1. Chemische Dampfablagerung