Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Sonraí bibleagrafaíochta
Príomhchruthaitheoir: Arnold, Heinrich (Údar)
Formáid: LEABHAR
Teanga:German
Foilsithe / Cruthaithe: Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Ábhair/píosaí:1 taifead