Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Arnold, Heinrich (VerfasserIn)
פורמט: ספר
שפה:German
יצא לאור: Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Aufsatz in Zeitschrift/Bände/Inhalte:1 Datensätze