Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

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Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik

Opis bibliograficzny
1. autor:	Arnold, Heinrich (Autor)
Format:	Książka
Język:	German
Wydane:	Berlin : Akademie-Verlag, 1982
Zapisy:	1 zapisów

1. Chemische Dampfablagerung