Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | German |
| Vydáno: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
|
| Obsah/části: | 1 záznamů |
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | German |
| Vydáno: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
|
| Obsah/části: | 1 záznamů |