Fedotov, J. A., & Pohl, H. (1974). Fotolithografie: Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie (1. Auflage.). Verlag Technik.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Fedotov, J. A., и H-J Pohl. Fotolithografie: Grundlagen Und Anwendung in Der Halbleitertechnologie. 1. Auflage. Berlin ; Moskau: Verlag Technik, 1974.
Цитирование MLA (8-е изд.)Fedotov, J. A., и H-J Pohl. Fotolithografie: Grundlagen Und Anwendung in Der Halbleitertechnologie. 1. Auflage. Verlag Technik, 1974.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.