Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Andere auteurs: | , |
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| Formaat: | Boek |
| Taal: | German |
| Gepubliceerd in: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Editie: | 1. Auflage |
| Inhoud/stuks: | 1 records |
| Fysieke beschrijving: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Plaatsingsnummer: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |