Fedotov, J. A., & Pohl, H. (1974). Fotolithografie: Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie (1. Auflage.). Verlag Technik.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Fedotov, J. A., và H-J Pohl. Fotolithografie: Grundlagen Und Anwendung in Der Halbleitertechnologie. 1. Auflage. Berlin ; Moskau: Verlag Technik, 1974.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)Fedotov, J. A., và H-J Pohl. Fotolithografie: Grundlagen Und Anwendung in Der Halbleitertechnologie. 1. Auflage. Verlag Technik, 1974.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.