Halbleitertechnologie Band01 Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung
| Egile nagusia: | |
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| Beste egile batzuk: | |
| Formatua: | Liburua |
| Hizkuntza: | German |
| Argitaratua: |
Berlin :
Verlag Technik,
1981
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| Edizioa: | 1. Auflage |
| Saila: | Halbleitertechnologie
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| Deskribapen fisikoa: | 238 S. |
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