Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Outros autores: | , |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Idioma: | German |
| Publicado: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| Edición: | 1. Auflage |
| Contido/pezas: | Rexistros 1 |
| Descrición Física: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
|---|---|
| Número de Clasificación: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |