Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Fedotov, J. A. (Επιμελητής έκδοσης), Pohl, H-J (Επιμελητής έκδοσης)
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:German
Έκδοση: Berlin ; Moskau : Verlag Technik, 1974
Έκδοση:1. Auflage
Περιεχόμενα / Τμήματα:1 εγγραφές