Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Beste egile batzuk: | , |
|---|---|
| Formatua: | Liburua |
| Hizkuntza: | German |
| Argitaratua: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Edizioa: | 1. Auflage |
| Edukiak/piezak: | 1 erregistroak |