Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Rannpháirtithe: | , |
|---|---|
| Formáid: | LEABHAR |
| Teanga: | German |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| Eagrán: | 1. Auflage |
| Ábhair/píosaí: | 1 taifead |