Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie

Podrobná bibliografie
Další autoři: Fedotov, J. A. (Editor), Pohl, H-J (Editor)
Médium: Kniha
Jazyk:German
Vydáno: Berlin ; Moskau : Verlag Technik, 1974
Vydání:1. Auflage
Obsah/části:1 záznamů

Podobné jednotky