Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Další autoři: | , |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | German |
| Vydáno: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| Vydání: | 1. Auflage |
| Obsah/části: | 1 záznamů |
| Fyzický popis: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
|---|---|
| Signatura: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |