Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Awduron Eraill: | , |
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| Fformat: | Llyfr |
| Iaith: | German |
| Cyhoeddwyd: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Rhifyn: | 1. Auflage |
| Cynnwys/darnau: | 1 o gofnodion |
| Disgrifiad Corfforoll: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Rhif Galw: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |