Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Muut tekijät: | , |
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| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Kieli: | German |
| Julkaistu: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Painos: | 1. Auflage |
| Sisältö/kappaleet: | 1 tietuetta |
| Ulkoasu: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Hyllypaikka: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |