Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| अन्य लेखक: | , |
|---|---|
| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | German |
| प्रकाशित: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| संस्करण: | 1. Auflage |
| अंतर्वस्तु / टुकड़े: | 1 अभिलेख |
| भौतिक वर्णन: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
|---|---|
| बोधानक: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |