Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Altri autori: | , |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | German |
| Pubblicazione: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Edizione: | 1. Auflage |
| Contenuto/pezzi: | 1 record |
| Descrizione fisica: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Collocazione: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |