Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Другие авторы: | , |
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| Формат: | |
| Язык: | German |
| Опубликовано: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Редактирование: | 1. Auflage |
| Контексты/части: | 1 записей |
| Объем: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Шифр: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |