Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Tác giả khác: | , |
|---|---|
| Định dạng: | Sách |
| Ngôn ngữ: | German |
| Được phát hành: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| Phiên bản: | 1. Auflage |
| Nội dung/Bộ phận: | 1 số dòng |
| Mô tả vật lý: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
|---|---|
| Số hiệu: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |