Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| 其他作者: | , |
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| 格式: | 图书 |
| 语言: | German |
| 出版: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| 版: | 1. Auflage |
| 内容/件: | %%计数%% 记录 |
| 实物描述: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| 索引号: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |