Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie

Bibliografische gegevens
Andere auteurs: Fedotov, J. A. (Redacteur), Pohl, H-J (Redacteur)
Formaat: Boek
Taal:German
Gepubliceerd in: Berlin ; Moskau : Verlag Technik, 1974
Editie:1. Auflage
Inhoud/stuks:1 records