Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Diğer Yazarlar: | , |
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| Materyal Türü: | Kitap |
| Dil: | German |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Edisyon: | 1. Auflage |
| İçindekiler/parçalar: | 1 Kayıt |
| Fiziksel Özellikler: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Yer Numarası: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |