Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie

Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie

Detalhes bibliográficos
Outros Autores: Fedotov, J. A. (HerausgeberIn), Pohl, H-J (HerausgeberIn)
Formato: Livro
Idioma:German
Publicado em: Berlin ; Moskau : Verlag Technik, 1974
Edição:1. Auflage
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