Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie

Бібліографічні деталі
Інші автори: Fedotov, J. A. (Редактор), Pohl, H-J (Редактор)
Формат: Книга
Мова:German
Опубліковано: Berlin ; Moskau : Verlag Technik, 1974
Редагування:1. Auflage
Зміст/частини:1 записів

Схожі ресурси