Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Other Authors: | , |
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| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Edition: | 1. Auflage |
| Contents/pieces: | 1 records |
| Physical Description: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Classmark: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |