Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Beste egile batzuk: | , |
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| Formatua: | Liburua |
| Hizkuntza: | German |
| Argitaratua: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Edizioa: | 1. Auflage |
| Edukiak/piezak: | 1 erregistroak |
| Deskribapen fisikoa: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Sailkapena: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |